PVD镀膜超声波清洗机采用流行环保水基清洗工艺，该设计*、合理,充分考虑了环保和节能的要求；并采用全封闭式结构，运行部件设计充分考虑防止污染，清洗机框架和烘干炉内均采用正压送风形式，保持运行时的风流始终外溢;同时，清洗区域与维护区域隔离开，确保润滑油脂及运动磨损不会对清洗的产品产生二次污染，通过以上措施能有效保证工作室长期处于洁净状态，从而保证产品的洁净要求；精巧的等工位移载结构能限度地减少辅助运行时间，保正工艺参数实施的准确性，本清洗机非常适合于LCD、TFT等基片的清洗和干燥，能适合千级以上的环境下使用。
PVD镀膜超声波清洗机将工件放入料框内专用固定夹内，由人工将料框放上入料口，等工位机械手自动将料框送入清洗机本体，上下提升机构依照PLC的程序将料框搬送到相应高度位置；完成对工件的清洗、喷淋、漂洗、慢提拉脱水和热风干燥后、送至清洗机出口，运送到卸料台出料。等工位机械手由气缸横向驱动，直线滑轨导向；上下提升由马达驱动，直线导轴导向；慢提拉提升机构由变频马达驱动，直线滑块导向；上下料由上下提升机构独立完成；PVD镀膜超声波清洗机采用触摸屏操作系统，有手动和自动切换开

PVD镀膜超声波清洗机清洗流程：
超声波溶剂清洗→超声波溶剂清洗→滴空槽→超声波水溶剂清洗→超声波水溶剂清洗→纯水喷淋漂洗→超声波热纯水漂洗→超声波热纯水漂洗→超声热纯水漂洗→热纯水慢拉脱水→热风烘干
PVD镀膜超声波清洗机槽体采用2mm厚#316进口不锈钢板，进水管采用#316不锈钢管材
超声波：超声功率：1.2或1.5KW,频率：40-60KHz,方便拆卸便于清洗。
超声波控制箱采用功率无级可调,设有功率输出显示功能。
PVD镀膜超声波清洗机配有加热系统:数字式温度控制器,显示温度与实际温度差在±5℃，要求30分钟内各槽达到设定温度，其中1、2、4、5、6、11槽必须配备储液槽，带温控控制并有液位保护；其它各槽是否配备储液槽由设备厂家根据工艺技术要求自行决定。
机械式抛动装置：上下抛动每分钟18次,抛动行程为40-50mm，抛动装置需有防止产尘的措施。
槽底成漏斗状排水，排水口接往总排水管；1、2、3、4、5除排水口外另加一个溶剂回收口。

PVD镀膜超声波清洗机喷淋方式采用垂直喷淋方式，方便工件取出，喷淋范围可覆盖到所有工件，压力5KG可；不锈钢洗篮架由我司提供。（L270*W370*H220mm）
第6、7、8、9、10槽均有溢流，由相对洁净程度高的槽向下一槽溢流；
槽体排液管采用易拆方式，并有滤网。
所有溢水方式均采用四周溢水。（锯齿半圆孤状）
设备底盘采用不锈钢制，门板采用不锈钢门板。
所有的过滤芯采用折叠式过滤芯，无污染；所有管道安装前必须进行清洁。
PVD镀膜超声波清洗机慢拉自动提升装置，提升速度无极可调。自动程序时，慢速提升，快速下降，也可手动控制。
设备必需运行稳定无振动，方便清洁。
PVD镀膜超声波清洗机特点:
全自动链式提升及抛动机动性,确保提升稳定、抛动均匀；
PVD镀膜超声波清洗机同步夹紧平移式机械，可搬送平稳，内部洁净；
逐级高精度纯水过滤，保证洗液洁净；

逐级高效空气过滤，保证后工序净化空间洁净；
PVD镀膜超声波清洗机超纯水慢拉脱水，确认表面脱水；
适合较大批量的零件清洗。
过程全自动运行、操作简单。
PVD镀膜超声波清洗机人机界面，PLC智能控制，及超限保护系统。
采用间接加热，防爆零部件等安全措施。
采用双系统引风干燥。
自动感应灭火装置。
PVD镀膜超声波清洗机优点介绍：
1、 PVD镀膜超声波清洗机清洗性能好。
清洗剂与大多数的润滑油、防锈油、机加工油同为非极性的在石油馏分，根据相似相容的原理，碳氢清洗剂清洗矿物油更好于卤代烃和水基清洗剂。
2、蒸发损失小。
清洗剂沸点较高，在使用保管过程中挥发损失小，对包装物和设备的密封要求很低。

3、 PVD镀膜超声波清洗机毒性极低。
经毒理试验，碳氢清洗剂的吸放毒性、经口毒性和皮肤接触毒性均为超低毒，且不属于致癌物质，清洗操作人员使用更安全。
4、材料相容性好。
清洗剂中不含水分和氯、硫等腐蚀物，对各种金属材料不会产生腐蚀和氧化。碳氢清洗剂又属于非极性溶剂，对大部分塑料和橡胶没有溶解、溶胀和脆化作用。
5、 PVD镀膜超声波清洗机可挥发无残迹。
清洗剂是非常纯净的精制溶剂，在常温和加热状态下均可挥发，没有任何残留。
6、不破坏环境。
清洗剂可以自动降解，清洗废液可以放入燃煤或燃油锅炉中焚烧，焚烧生成物主要为CO2和水，对空气无污染。碳氢清洗剂中不含氯，对臭氧的破坏系数为零。