英国Taylor Hobson圆柱度仪TR565
立柱
立柱
300mm立柱 500mm立柱 900mm立柱
(1) 立柱行程： 300mm 500mm 900mm
(2) 全程直线度误差： 0.3μm/300mm 0.3μm/500mm 1.0μm/900mm
(3) 任意100mm直线度误差： 0.15μm/100mm 0.15μm/100mm 0.3μm/100mm
(4) 立柱对主轴的平行度： 0.5μm/300mm 1μm/500mm 2μm/900mm
(5) 位置控制： ±5μm ±5μm ±10μm
(6) 移动速度： 0.25-20mm/秒(移动和测量)，0.5-5mm/秒(接触)
(7) 长度测量： 0.03μm/mm + 1.5μm
(8) 位定位分辨率： 0.25μm
(9) 采样数据点： 多200,000(可选)
水平横臂
径向直线度单元(RSU) 机动径向臂(MRA)
(1) 横臂材料： 陶瓷 铝
(2) 行程 200mm 200mm
(3) 全程直线度误差： 0.25μm/200mm 不适用
(4) 任意行程的直线度误差： 0.125μm+0.000625μm/mm 不适用
(5) 对主轴的垂直度： 1μm/200mm 不适用
(6) 移动速度： 0.25-15mm/秒(移动) 0.25-15mm/秒(移动)
0.25-15mm/秒(测量) 不适用
0.5-5mm/秒(接触) 0.5-5mm/秒(接触)
0.25-15mm/秒(测量) 不适用
0.5-5mm/秒(接触) 0.5-5mm/秒(接触)
(7) 过中心的行程 25mm 25mm
(8) 位置控制： ±5μm ±5μm
(9) 径向测量： 0.05μm/mm + 1.5μm 0.05μm/mm + 1.5μm
(10) 位定位分辨率： 0.25μm 0.25μm
(11) 小移动量： 0.05mm 0.05mm
(12) 采样数据点： 多200,000(可选) 不适用
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