"基本信息
中文名称: 六氟乙酰丙酮钯(II)
英文名称: Palladium(II)hexafluoro-2,4-pentanedionate
英文别名: Palladium(II) hexafluoroacetylacetonate
CAS号: 64916-48-9
分子式: C10H8F18O4Pd
线性分子式: Pd(C5HF6O2)2
分子量:
MDL号: MFCD
Beilstein号:
EC号: 265-271-1
折叠编辑本段性状描述
黄色粉末
折叠编辑本段用途说明
MOCVD前驱体化合物;均相催化剂; 用于氧化还原金属置换反应,以优化铜的化学气相沉积合金化工艺;用于同时进行铜的蚀刻和钯的沉积,从而应用于超大规模集成设备"
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