"三氟化氮,分子式:NF3。气体分子量:,熔点:–℃(1atm),沸点:–129℃(1atm),临界温度:–℃,临界压力:三氟化氮tm(),液体密度:1554 kg/m3(1atm,沸点时),气体密度: kg/m(1atm,21℃),水中溶解度(1atm,22℃):×10-5当量浓度。纯净的NF3气体是一种无色无味的气体,当混入一定量的杂质气体后颜色发黄,同时会有发霉或刺激性气味。NF3气体不可燃,但能助燃。当温度超过350℃时,三氟化氮气体会缓慢分解,分解时产生强氧化性氟。因此,在高温下它是一种强氧化剂。CAS号:7783-54-2。危险性类别:第类有毒气体,在空气中的允许含量为29mg/m三氟化氮主要用途是用作氟化氢-氟化气高能化学激光器的氟源,在h2-O2 与F2之间反应能的有效部分(约25%)可以以激光辐射释放出,所 HF-OF激光器是化学激光器中希望的激光器。三氟化氮是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体,对硅和氮化硅蚀刻,采用三氟化氮比四氟化碳和四
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