氦质谱检漏仪

氦质谱检漏仪（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。

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什么是氦质谱检漏仪

氦质谱检漏仪品牌浅析什么是氦质谱检漏仪

氦质谱检漏仪可靠的广泛的市场应用，此款氦质谱检漏仪适用于工业、分析研究、镀膜市场等。此款氦质谱检漏仪坚固耐用，抗震性能，可反复使用数年仍保证的检漏漏率。氦质谱检漏仪紧凑的设计适合串列生产和持续工作。氦质谱检漏仪主要特点：前级泵配备抽速高达15 m3/h 旋片泵，对氦气抽速可达 /s，氦质谱检漏仪 ASM 340 对氦气的蕞小检测漏率：

真空模式：5 · 10-13 Pa m3/s

吸枪的模式：5 · 10-10 Pa m3/s

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氦质谱检漏用氦气的选择

氦气是一种无色、无味的隋性气体。相对分子质量为，分子直径为×10-10m，分子的质量为×10-27kg，在标准状态下的密度为/m3，临界温度为，临界压力为×105Pa，1atm压力下的沸点为，熔点为，三相点温度为6K，三相点压力为×10-2Pa，在标准状态下的热导率为/(m·h·K)，在标准状态下的定压比热为5233J/(kg·K)，在标准状态下的动力粘度系数为×10-5Pa·s，1L液氦气化为标准状态下的氦气体积为700L。

国家标准规定的瓶装氦气按纯度高低分别为工业用氦、纯氦、高纯氦三种。

1、工业用氦：氦含量≥99%，露1点≤43℃.

2、纯氦分三级：优等品氦含量≥%；一等品氦含量≥%；合格品氦含量≥%。

3、高纯氦分为三级：优等品氦含量≥96%；一等品氦含量≥93%；合格品氦含量≥9%。

氦气在氦质谱检漏仪检漏中作为示踪气体使用，纯度要求不高，一般选用工业用氦，即氦含量≥99%，露1点≤43℃。

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