真空设备检漏与维修

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真空设备检漏

选择检漏方法的原则

(1)主要根据被检漏设备的允许漏率为依据，由于一个设备的允许漏率是很多漏孔漏率的综合，为找到一个单个漏孔，所选择的检漏方法的检漏灵敏度就要高于允许漏率1~2个数量级。如一个设备的允许漏率为10-11W，而必须选用的检漏灵敏度为10-12~10-13W;

(2)根据具体被检对象，所用方法简便易行、经济实用。

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真空设备检漏

北京科仪创新真空技术有限公司（简称：科仪创新）出资成立，创建于2015年，注册资金500万。科仪创新产品主要有：薄膜制备设备，真空冶金设备，检漏设备，真空系统等非标真空产品；系列分子泵，离子泵，钛升华泵，深冷捕集泵等高真空获得设备；系列干式涡旋泵，干式爪泵，干式螺杆泵等无油真空获得设备；超高真空环境模拟设备等产品。

皂泡法

对不太方便放到水槽内的管道、容器和密封连接进行检漏时，先在被检件内充入压力大于的气体，然后在怀疑有漏孔的地方涂抹肥皂液，形成肥皂泡的部位便是漏孔存在的部位。

在检漏时应注意肥皂液稀稠得当。太稀了易于流动和滴落而造成误检，太稠了透明度差容易漏检，并且所混入的气体也可能形成泡沫而造成误检。

此方法的灵敏度为1´10-4 cm3/s数量级。