气体名称

化学式

范围

氨

NH₃

0-100ppm

氢化砷

AsH₃

0-0.2ppm

三氯化硼

BCl₃

0-8.0ppm

BF₃

0-8.0ppm

（低浓度的）

BF₃

0-2.0ppm

溴

Br₂

0-0.4ppm

二氧化碳

CO₂

0-2% vol

一氧化碳

CO

0-100ppm

氯

Cl₂

0-2.0ppm

二氧化氯

ClO₂

0-0.4ppm

ClF₃

0-0.4ppm

硼乙烷

B₂H₆

0-0.4ppm

二氯甲硅烷

H₂SiCl₂

0-8.0ppm

二氟甲烷

CH₂F₂

0-120ppm

乙硅烷

Si₂H₆

0-20ppm

氟

F₂

0-4.0ppm

锗烷

GeH₄

0-0.8ppm

六氟丁乙烯

C₄F₆

0-40ppm

氢（%爆炸下限（LEL））

H₂

0-99% LEL

氢（ppm）

H₂

0-1000ppm

溴化氢

HBr

0-8.0ppm

HCl

0-8.0ppm

HCN

0-20ppm

氟化氢

HF

0-12ppm

氟化氢（低浓度的）

HF

0-2.0ppm

硫化氢

H₂S

0-40ppm

硫化氢（高浓度的）

H₂S

0-100ppm

甲烷（%爆炸下限（LEL））

CH₄

0-99% LEL

甲基氟

CH₃F

0-60ppm

二氧化氮

NO₂

0-12ppm

一氧化氮

NO

0-100ppm

三氟化氮

NF₃

0-40ppm

八氟环戊烯

C₅F₈

0-40ppm

氧气能力&缺氧

O₂

0-25% vol

臭氧

O₃

0-0.4ppm

PH₃

0-1.2ppm

氢氧化磷

POH₃

0-0.4ppm

硅烷

SiH₄

0-20ppm

硅烷（低浓度的）

二氧化硫

SO₂

0-8.0ppm

六氟化硫

SF₆

0-8000pm

四氟化硫

SF₄

0-0.4ppm

正硅酸乙酯

TEOS

0-40ppm

六氟化钨

WF₆

0-12ppm

六氟化钨（低浓度的）

WF₆

0-2.0ppm