流量/压力范围
± mbar [ in H20]
+200 SLPM
0 毫巴至 毫巴 [0 H20 至 H20]
+
0 毫巴至 毫巴 [0 H20 至 H20]
±1000 sccm (1 SLPM)
工作温度
-25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F]
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流量/压力范围±5
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± mbar [ in H20]
+200 SLPM
0 毫巴至 毫巴 [0 H20 至 H20]
+
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