半导体晶片退火炉 管式加热炉把实验的气体通入炉管中，管子的两端由阀门密封，气体在加热中可以分解、化合等多种化学反应。充气时由阀门控制流量计、质量流量计、压力表等监控。
炉膛材料全部采用高纯氧化铝纤维板/进口摩根纤维制作而成，节能效果是老式电炉80%以上。（微电脑控制）可编程，全自动升温，控温精度±1℃ 炉管内部可以抽成真空，实现高温真空烧结。也*可以充以不同的气体，加以气氛保护。充气时由阀门控制流量计、质量流量计、压力表等
半导体晶片退火炉 管式加热炉技术参数
温度 项目 | 1000度、1200度、1400度、1600度、1700度、1800度、 |
电压V | 380 |
型号 | SRD-1700GSL |
设计温度 | 1000度、1200度 、1400度、1600度、1700度、1800度 |
可长期使用温度 | 950度、1150度、1350度、1550度、1650度、1750度 |
控温精度 | ±1度（集成化电路控制，无*调现象） |
控制范围为 | 50至1800度 |
测温元件 | 热电偶分度号：K,测温范围0-13850度；S,测温范围0-1450度；B,测温范围0-1850度 |
发热元件装位置 | 平行/垂直安装于炉膛两侧 |
炉温均匀性 | ±1度（根据炉膛尺寸大小而定,大型炉膛可采用多点控温） |
炉管材质 | 石英管/不锈钢管/刚玉管 |
控制 | 微电脑程序控制功能，可以输入设定：可同时输入多条曲线，使用时可任意调用 |
发热元件 | 硅碳棒/硅钼棒 |
升温速率 | 升温速率可自由调节，调节范围：升温速率每分钟40度（40度/min）、慢升温速率每小时1度（1度/h） |
耐火材料 | 高纯氧化铝纤维/进口摩根纤维 |
冷却结构 | 双层炉壳，风冷；炉体温度≤45度 |
计算机接口(选配） | RS485/RS232/USB |
保修范围及期限 | 电炉*保修壹年，发热元件、炉管、热电偶不保修（发热元件三个月内自然损坏*更换） |
随机备件 | 发热元件两支、棒具两套，说明书一份，合格证一份，高温手套一副，密封圈两个。 |
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