一种回收包含在氢氟酸废水中的氢氟酸,同时使处理后的脱氢氟酸的水的氢氟酸浓度充分下降的氢氟酸废水处理方法和装置.作为对含氢氟酸的氢氟酸废水进行处理的氢氟酸废水处理方法,该氢氟酸废水处理方法包括通过对氢氟酸废水进行蒸发浓缩,生成浓缩氢氟酸水和含氢氟酸蒸气的氢氟酸浓缩工序S1,使氢氟酸浓缩工序所生成的含氢氟酸蒸气与溶解用水接触,使其溶解的溶解工序S2,通过使溶解工序S2中残留的含氢氟酸蒸气与碱接触,生成中和液和脱氢氟酸的蒸气的中和工序S3,和通过冷凝中和工序S3生成的脱氢氟酸的蒸气生成冷凝水的冷凝工序S4
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