生物法是利用微生物的生理活动分解代谢有机物来净化有机废气。包括生物过滤、生物洗涤、生物滴滤。经历三个阶段：①废气中有机物与水接触并溶解；②根据浓度差推动有机污染物进一步扩散到生物膜，被微生物吸收掉；③有机污染物被微生物吸收分解，转化为简单的无机物，二氧化碳和水。生物过滤法需要有生物过滤池，有机废气经过增湿器润湿，通过附有生物的填料层，有机污染物就被微生物降解。生物洗涤法利用生物洗涤器处理有机废气，生物洗涤器由装有惰性填料的传质洗涤器和生物降解反应器组成。生物滴滤法需要有生物滴滤塔，降低了气体通过床层的阻力。
等离子体是一种自由电子和带电离子为主要成分的物质形态，是一种中性气体，高电导率、粒子动能大、化学性质活泼，容易发生反应。按照热力学平衡分类，等离子体可分为高温等离子体、热等离子体、低温等离子体。低温等离子体系统温度较低，应用场合相对广泛，在电场中，高能电子作用于气体分子，气体分子吸收了高能电子能量被激发并分解生成多种自由基碎片，有氧情况下，碎片自由基可以与污染物质发生弹性碰撞及非弹性碰撞等一系列物化作用，将污染物转化成二氧化碳和水。