什么是质量流量控制器？

What‘s Mass Flow Controller？

质量流量控制器可以根据设定流量发送的电信号自动控制气体流量，不受使用条件和气压的 影响。流量大致分为“体积流量"和“质量流量"。体积流量会受环境温度和压力的影响；实际流 量需要测量和计算压力和温度。质量流量受环境压力和温度的影响非常小，因此可以提供更准确稳 定的测量和控制。我们的质量流量控制器在工业领域使用广泛，在流量精确控制或自动生产线搭建中是****的设备。

HORIBA 数字式质量流量控制器采用 HORIBA STEC （日本）技术，在HORIBA Precision

Instruments （中国）生产制造。

HORIBA STEC 在流体技术和品质方面研发有半个世纪之久，在广泛的工业领域能够为客户提供***的支持。
HORIBA 数字式质量流量控制器特点

高精度/快速响应

多种通讯（RS485 / PROFIBUS / DeviceNet / EtherCAT）

HORIBA STEC设计

核心部件日本进口
应用

生物制药：发酵反应气的过程控制， 生物反应气体管理

食品饮料：混合，装瓶过程控制， 干燥冷却，包装保护器

工业炉：火焰/燃烧控制/气体混合

真空镀膜：薄膜沉积过程控制

汽车： 排放测试，排放监控、测量压 缩气体

热处理： 燃烧控制，焊接
分析/气体分析： 抽样分析。气体抽 样比例测试，从色谱仪中核查多气 体流动的气流气压
光纤： MCVD/VAD/OVD
PV： 扩散过程气体/PECVD/离子注入