松下PanasonicLED型晶圆校准传感器(HD-T1030, HD-T1C),晶圆定位的检测

性能特点：

使用安全的LED光确保分辨率30μm下的高精度检测

无需任何安全措施

使用安全的红色LED作为光源，无需任何繁杂的安全措施。无需使用激光时的保护罩，在美国使用时不需要符合FDA标准。

施工简便

使用ONE SHOT连接器将检测头与控制器连接。配线工时降至zui低限度，维护轻松。

低消耗电流70mA以下

检测头和控制器的总消耗电流为70mA以下。实现光电传感器同等的低功耗。

高分辨率30μm

虽然使用红色LED作为光源，但仍然具有激光传感器同样的高性能，因此可实现高精度检测。

无需光轴调整

投、受光部一体型，无需繁琐的光轴调整。并且，检测距离及检测宽度可以覆盖30mm的广阔区域，可对应各种不同尺寸的晶圆。

配备系数和偏移量调整功能

模拟输出(1～5V)除了系数调整功能之外，还具备方便的偏移调整功能，可在±0.5V的范围内转换模拟电压。