等离子体清洗可以不分处理对象,它可以处理各种各样的材质,无论是金属、半导体、氧化物,还是高分子材料(如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亚胺、聚酯、环氧树脂等高聚物)都可以使用等离子体来处理。因此特别适合于不耐热以及不耐溶剂的材质。而且还可以有选择地对材料的整体、局部或复杂结构进行部分清洗;
真空等离子清洗机是利用等离子体内的各种具有高能量的物质的活化作用,将附着在物体表面的污垢剥离去除。下面以氧气等离子体去除物体表面油脂污垢为例,说明这些作用。等离子体对油脂污垢的作用,类似于使油脂污垢发生燃烧反应;但不同之处是其在低温情况下发生的“燃烧"。其基本原理:在氧气等离子体中的氧原子自由基、激发态的氧气分子、电子以及紫外线的共同作用下,油脂分子终被氧化成水和二氧化碳分子,并从物体表面被清除。
采用无线电波范围的高频产生的等离子体与激光等直射光线不同。等离子体的方向性不强,这使得它可以深入到物体的微细孔眼和凹陷的内部完成清洗任务,因此不需要过多考虑被清洗物体的形状。而且对这些难清洗部位的清洗效果与氟利昂清洗的效果相似甚至更好;
真空等离子清洗机技术作为一种新型的材料表面改性方法,以等离子清洗机低能耗、污染小、处理时间短、效果明显的特点引起了人们的关注。等离子清洗机在众多的改性方法中,低温等离子清洗机是近年来发展较快的方法,等离子清洗机与其他方法相比有很多优点。
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