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一. 描述:
采用范德堡测量原理能解决样品因几何尺寸、边界效应、探针不等距和机械游移等外部因素对测量结果的影响及误差,提供通讯接口,PC软件数据处理及数据分析.中文或英文语言版本.
二.参照标准:
硅片电阻率测量的标准(ASTM F84)及国家标准设计制造;GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》、GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》
型号及参数
规格型 FT-332
1.方块电阻范围 10-4~2×105Ω/□
2.电阻率范围 10-5~2×106Ω-cm
测试电流范围
10μA,100µA,1mA,10mA,100mA
4.电流精度 ±0.2%
5.电阻精度 ≤0.3%
6.显示读数 液晶显示:电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率
7.测试方式 普通单电测量
8.工作电源 输入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗 lt;30W
9.误差 ≤4%(标准样片结果)
10.选购功能 选购1.pc软件; 选购2.方形探头; 选购3.直线形探头; 选购4.测试平台;5.
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