测量中心距离为20 ~ 1,500 mm的各种型号。
分辨率达0.25 μm。
响应速度达110 μs。
支持并行输出。
超高性能传感器支持大范围超精确测量的核心质量
【产品特点】
超高性能传感器支持大范围超精确测量的核心质量
超稳定性
尺寸/稳定性
传感器尺寸
重视性能的传感器头尺寸和3点式固定构造确保出众的传感稳定性。(参见注释)
注:ZS-HLDS2T 不可用。
的移动分辨率
透视分辨率提升
通过提高受光透镜的灵敏度和分辨率,使光学系统化,从而大幅度降低移动分辨率误差(因工件表面位置引起的误差)。
材质间误差降低
2维CMOS
CCD在受光量过多时电荷会溢出至相邻的像素。CMOS避免了这种现象,不会受不同材质或受光过多导致的光量变动影响。
降低决定测量精度的不同物体之间的差异。
因此,可以更方便地应用于检测对象物。
行业的1,500mm长距离检测,可以测量以往无法测量的点。
注:此功能可能在明亮环境中无效。
可稳定测量倾斜工件和移动工件。
专门为ZS-HLDS2VT开发的非球面透镜,采用的光学结构设计于正反射工件。显著扩大了允许倾斜的角度,并提高了测量透明工件和正反射工件的稳定性。
在半导体晶圆片、玻璃等要求精度高的测量上具有压倒性的优势。
令人难以置信的测量精度0.25μm,同级产品的。
密封调和器的高度控制
HDD用电机旋转座的光盘播放检查
(单位:mm)
传感器控制器
ZS-HLDC□1
多通道控制器
ZS-MDC□1
数据存储单元
ZS-DSU□1
传感器头
ZS-HLDS2T
ZS-HLDS5T/HLDS10
注:ZS-HLDS5T型:L = 50,A = 30°
ZS-HLDS10型:L = 100,A = 25°
ZS-HLDS60/HLDS150
注:ZS-HLDS60型:L = 600,A = 7° ZS-HLDS150型:L = 1500,A = 3°
ZS-HLDS2V/LD20/LD20S/LD40
注:ZS-HLDS2VT型:L = 25,A = 34.5°
ZS-LD20T/20ST型:L = 20,A = 45°
ZS-LD40T型:L = 40,A = 32°
ZS-LD10G
ZS-LD15G
实时并行输出单元
ZG-RPD□1
面板安装适配器
ZS-XPM1/XPM2 (面板安装尺寸)
注:面板厚度为0.2mm的尺寸图。
数字均衡器
ZS-XEQ
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