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| 尺寸 | 500 x 750 x 650 mm |
| 重量 | 80Kg |
| 类型 | 自动 |
| 测量型号 | ≤ 4" |
| 测量方法 | 无连接的 |
| 测量原理 | 反射计 |
| 特征 | 测量迅速，操作简单 非接触式，非破坏方式 优良的重复性和再现性 2D/3D 映射和造型 自动机械活动控制 CCD相机 自动调焦 |
| 活动范围 | 300mm x 300mm |
| 测量范围 | 100Å~ 35㎛(Depends on Film Type) |
| 光斑尺寸 | 40㎛/20㎛,4㎛(option) |
| 测量速度 | 1~2 sec./site (fitting time) |
| 应用领域 | 半导体 Poly-Si, GaAs, GaN, InP, ZnS+Si, Ge,SiGe... 电解质 SiO2, TiO2, TaO5, ITO, ZrO2, Si3N4, Phptoresist, ARC,... 平板行业（包括LCD，PDP, OLED,): a-Si,n+-a-Si, Gate-SiNx MgO,Alq,ITo,PR,CuPc, NPB, PVK,PAF,PEDT-PSS,Oxide,Polyimide... 光学涂膜反射膜 Color Filters... 太阳能电池 Dopinga-Si(i-type,n-type,p-type),TCO(ZnO,SnO.ITO...) 聚合物 PVA,PET,PP,Dye,Npp,MNA,TAC,PR... |
| 可选项目 | Reference sample(K-MAC or KRISS or NIST) Anti-vibration table |
| 接物镜转换器 | Quintuple Revolving Nosepiecs |
| 焦点 | Coaxial Coarse and Fine Focus Controls |
| 附带照明 | 12v 100W Halogen Lamp |
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