FTIR傅里叶红外在硅材料分析中的应用

用于超高灵敏度硅材料质量控制分析的分析仪

CryoSAS 是一款低温硅材料分析仪，可用于太阳 能和电子硅行业的超高灵敏度质量控制。它可以同时定量分析碳、氧以及浅层杂质（如硼、磷、砷等）。

根据ASTM/SEMI标 准，CryoSAS操作简便，无需液氦等制冷剂。相比于传统的湿 化学分析法，CryoSAS更为快速、灵敏，并且对样品没有任何 损害。

• ·对单晶硅中所含的第三、五族杂质（硼、磷、砷、铝、镓、锑） 的定量分析，检出限达ppta量级。

• ·多晶或单晶硅中代位碳的定量分析，检出限达ppba量级。

• ·多晶或单晶硅中间隙氧的定量分析，检出限达ppba量级。

• ·全自动检测流程，自动分析数据、自动生成检测报告。

用于硅材料质量控制的低温光致发光实验

根据ASTM/SEMI MF1389标准，低温近红外光致发光（PL）实验可以用于单晶硅中浅层杂质（如硼、磷等）的定量分析。

我们将高灵敏度VERTEX 80 傅立叶变换光谱仪和专为硅材料低温光致发光实验 设计的低温恒温器相结合，实现了低检出限小于1ppta的超高检出水平。

• 根据 ASTM/SEMI MF1389标准，定量分析单晶硅中的硼、磷和铝含量。 用CVD方法制备的TCS（三氯硅烷）硅外延层也可进行PL实验，以实现TCS的质量控制。

• 多种附加功能，如自动控制恒温器制冷、专用的PL硅材料QC软件、标准建模样品和第二个激 发激光。