将ICP光谱仪的设定编辑好之后，就能进行点火测量了，点击System/SetupDevices之后，设置好合适的等离子气体流量，一般为10L/min、辅助气流量为1L/min，雾化器气流量为1L/min，设定完点击Apply 进行冲洗气路2分钟。在矩管图中看气流指示都归零以后，点击Plasma点燃等离子体，点火后点击Pump启动进样泵。在进样前吸入蒸馏水或空基体溶液5∽15分钟，以加热和平衡组成成分。

1） 定量测量
分析线的定义：做定量测量前，必须先做分析线的定义。在 Method的Line Definition窗口中，点击Method/Analysis/SingleMeasurements测量一个高浓度的标样后，确定分析线的峰高、背景、积分范围等相关定量参数。或调入已保存的光谱图定义以上参数。
然后点击Smart Analyzer Vision工作站左边工具箱中的Analysis按钮进入分析测量窗口。如果是用自动进样器进样，在自动进样器窗口中点击Automate/Executeprogram(F5)，按自动进样器的编辑方法进样。若要停止进样，点击Automate/AbortProgram（Esc）。

这些都是快捷键操作的说明，如果手动操作，就按照下面的方式。
测量样品：把吸样管放入要测的样品中，若测量一次点击Analysis/Single Measurements，若测量多次点击Analysis/Multiple Measurements，测量完以后，点击Analysis/SampleFinish。

测量标准样品：将吸样管放入要测的标样中，点击Analysis/MethodMeasurements，选择要测的标样名，点击Measure，测量完成后，点击Analysis/Sample Finish。然后按顺序测完标准系列，再点击Calculate，回到Method窗口，得到工作曲线。如果不能得到工作曲线，是由于软件计算出的工作曲线的相关系数小于设定值。

2） 定性测量
点击Smart Analyzer Vision工作站左边工具箱中的Method按钮，编辑一个要定性元素（或全谱定性）的方法，然后点击spectra按钮进入光谱测量窗口。把进样管放入要检测的样品中，点击spectra/Single Measurements，输入要检测的样品名称，测量完成后，点击spectra/Sample Finish。一般要测定样品空白和样品的光谱图，然后作比较。