CRF电浆清洗机的控制单元、腔体和真空泵的选择指南：
        CRF电浆清洗机广泛应用于微观纳米清洗、刻蚀、喷涂、接枝化和表面沉积性等场合。通过其处理,能够改善材料表面的润湿能力,使多种材料能够进行涂覆等作业,增强粘合力、键合力,与此同时清除有机污染物、油污或油脂。CRF电浆清洗机是依靠利用其活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁等目地。plasma等离子清洗机可用于清洗、刻蚀、活化和表面准备等。等离子体和固体、液体或气体一样,是介质的一种状态,也被称为物质第四态。对气体增加充分的能量使之离化便成为了等离子状态。等离子体的”活性”组分包括:离子、电子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。CRF电浆清洗机是依靠利用其活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等目地。
CRF电浆清洗机的结构主要分为三个大的部分组成，分别是控制单元、真空腔体以及真空泵。
一、控制单元
国内的CRF电浆清洗机，包括国外进口的，控制单元主要分为半自动控制、全自动控制、PC电脑控制、液晶触摸屏控制四种方式。而控制单元又分为两个大的部分：
1）电源部分：主要电源频率有三种，分别是40KHz、13.56MHz、2.45GHz，其中13.56MHz是需要电源匹配器的。
2）系统控制单元：分三种，按钮控制（半自动、全自动）、电脑控制、PLC控制(液晶触摸屏控制)。
二、真空腔体
真空腔体主要是分为两种材质的：
1）不锈钢真空腔体。
2）石英腔体。
三、真空泵
真空泵分为两种：
1）干泵。
2）油泵。