为啥说CRF等离子清洗设备溅射工件表面不会影响其性能：
         CRF等离子清洗设备溅选用高频电源能够提高工件表面的粘合力，亲水性，通过去除有机污染物，在表面介入极性有机官能团，提高表面亲水性及表面润湿性能，是地剥离式干式清洗，真空等离子表面处理设备处理后不会在工件表面产生损伤层，材料表面质量得到保证。
        CRF等离子清洗设备清洗采用O2和AR，产生能量，当有足够的能量就可以打开PTFE的碳氟键，同时又有活性基团替代掉氟原子时，PTFE聚四氟乙烯也就变成了极性高聚物，表面能得到提升，亲水性得以改善。
根据所处理的PTFE产品不同的形状、处理目的和要求会有所区别。例如薄膜类材料适用采用卷对卷的等离子设备；板材类材料适用采用水平或者是垂直的电极结构的等离子清洗机。对CRF真空等离子清洗设备控制参数的把控，对处理PTFE聚四氟乙烯材料有重要影响。
        CRF等离子清洗设备溅包括低压真空设备和常压设备，前者可以通入不同的工艺气体，调配多项控制参数，相对适用处理PTFE聚四氧乙烯。
         CRF等离子清洗设备溅也叫清洁机，或者是plasma，是种崭新的*科技，使用等离子体来达到普通清洗方法不能达到的实际效果。等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。如果在真空等离子表面处理设备放电气体中引入反应性气体，那么在活化的工件表面会发生复杂的化学反应，引入新的官能团，如烃基、氨基、羧基等，这些官能团都是活性基团，能明显提高材料表面活性。一般材料经NH3.O2.CO.Ar.N2.H处理后接触空气的2等气体等离子体将在表面引入—COOH等基团，增加其亲水性。