O2、N2、CO2、CO、H2O、NH3和SO2气体都可以用在等离子设备上：
        差异的气体对等离子设备的等离子体效能起着决定性的作用，可以决定着plasma对复合材料表面的改性的效果。等离子设备表面清洗通常采用稀有气体，涉及非反应和反应性气体。非反应性气体指He、Ar等稀有气体，这类气体的等离子体作用于材料时，稀有气体原子并不和高分子链组合，等离子体表面处理而是对表面进行刻蚀和产生自由基，但当原材料触及空气后表面的自由基会继续与空气中的活性气体发生反应，生成极性基团。等离子体表面处理反应性气体指一些无机气体或易挥发的无机化合物，常用的有O2、N2、CO2、CO、H2O、NH3、SO2等，与非反应性的稀有气体差异，这类反应性气体的等离子体作用于材料时，气体原子可以与高分子链组合，形成相关的官能团。
      等离子设备的优点是良好的控制和可重现性的控制。环保技术：等离子体是低能量消耗，干燥技术，无废物产生和处理废物成本；操作方便技术：无化学产品，无污染，低维修要求；全过程可控工艺：所有参数可由电脑打印和数据记录，进行质量控制。处理物无损坏或整体性质无变化；有效进行处理：高度激活，比电晕和火焰方法有较长保存时间；在同样组合中，可以进行差异工艺的处理；处理物几何性状无限制：大或小，简单或复杂，部件或纺织品均可以处理。以上优点，为表面处理和改性提供新的技术。
        等离子设备处理来代替传统的化学处理方法，不论消耗上、控制上、环保方面均占优势。更主要的是激光钻的小孔，气体等离子体容易进入，而化学品则很难进入。在消耗气体方面，1年中整个生产过程中仅用数瓶就能代替几千升的化学品消耗。总成本比较，每平方米印刷电路板用等离子体处理仅及的一半。进一步技术方面发展同样系统，预先设定工艺参数。可以处理环氧树脂，聚酰亚氨和聚四氟乙烯。特别处理环氧树脂更具有好的质量。对其他基础材料，等离子处理具有普遍性，也不需要进一步再处理。