CRF等离子体发生器可以使操作人员远离有害溶剂对人体的伤害:
        绝大部分的真空泵低温等离子体发生器设施都选用真空泵吸干，抽气油泵腔。一些应用是独立的，另一些是组合的。低温等离子体发生器，中小型真空泵。其操作过程操作面板核心由功能键、状况指示仪、蜂鸣器电路及展示灯、额定功率控制板、统计显示真空计、定时器、旋钮开关及浮球总流量组成。它由仪表板和其它部件组成。真空泵的起动和终止控制是通过一个带锁紧的开关式出光键对直流接触器进行即时控制。对DC型接触器的接触点进行接合，对控制真空泵三相电源进行接合和切断。该控制措施可综合考虑到中小型企业等离子体发生器的控制要求，若选用该方法实现全自动化控制，不仅难度大，而且精度要求和控制安全系数都难以规定。
        利用等离子体发生器可以使操作人员远离有害溶剂对人体的伤害，同时也避免了湿洗过程中容易损坏物体的问题；避免使用ODS有害溶剂，使洗涤后不会产生有害污染物，因此属于环保绿色清洗方法，在环境保护的高度重视下，其重要性日益突出。
        经等离子体发生器清洗设备后，清洗对象是干燥的，无需再进行风干或干燥处理，即可送下一道工序，可提高整个流程流水线的处理效率。选用高频产生的等离子体与激光等直射光不同。等离子的运动方向都是零散的，这使得它可以深入到物体内部的细小孔洞和凹陷中，以完成各种清洗任务，因此对被清洗物体的形状不用考虑太多。此外，对于这些难清洗的部位，其清洗效果也相似或优于氟利昂。