陶瓷等离子清洗机：

       采用Ag72Cu28焊料钎焊成的的多层陶瓷外壳由多层金属化陶瓷、底座和金属部件组成，在进入电镀环节之前，外壳表面必然会产生各种各样的污垢，包括灰尘、固体颗粒、有机物等，同时由于自然氧化还会产生一层氧化层。镀件表面必须在电镀之前清洗干净，否则会影响镀层与基体的结合力，导致镀层起皮、起泡。传统除去此类污染物，通常使用甲苯、丙酮、乙醇等有机溶剂，但这种方法一方面清洗不，容易造成镀层缺陷，另一方面又会使生产成本增加，引发环境问题。由于其均匀性、重复性、可控性和节能和环保等特点，等离子清洗机技术在该领域得到了广泛应用。

       在等离子清洗机清洗过程中，氧气转变为含氧原子自由基的等离子体，激发态的氧气分子以及电子等粒子，这类等离子体与固体表面的反应可分为物理反应(离子轰击)和化学反应，物理反应机制是活性粒子轰击待清洗表面，使污染物脱离表面排出，化学反应机制是O活性粒子将有机物氧化为水和二氧化碳分子，然后从表面清除。

       用O2作等离子清洗机的清洗气体，在处理Ag72Cu28焊料具有明显的可行性。Ag72Cu28焊料钎焊外壳表面电镀Ni、Au之前，用O2作清洗气体进行等离子清洗，可以去除有机物的污垢，提高镀层质量，对提高产品质量和可靠性非常重要，同时对节能减排也有很好的示范作用。