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HMDS烘箱预处理系统操作流程

2023年09月14日 09:58:45      来源:北京中科博达仪器科技有限公司 >> 进入该公司展台      阅读量:21

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HMDS烘箱预处理系统操作流程

 1、首先确定烘箱工作温度;

 2、预处理程序为:打开真空泵抽真空,待腔内真牢度达到某一高真空度后,开始充入氮气,充到达到某低真空度后,再次进行抽真空、充入氮气的过程,到达设定的充入氮气次数后,开始保持一段时间,使硅片充分受热,减少硅片表面的水分;

 3、再次开始抽真空,充入HMDS气体,在到达设定时间后,停止充入HMDS药液,进入保持阶段,使硅片充分与HMDS反应;

 4、当达到设定的保持时间后,再次开始抽真空。充入氮气,完成整个作业过程。

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