电子显微镜的三种常见模式
在电子显微镜的应用中,有三种基本的工作模式,作用各不相同。1.扫描透射模式。扫描透射(STEM)其实是一种独立的显微成像技术,有专门的扫描透射显微镜。但是装备了必要的附件之后,这种技术可以在TEM上实现,并且有越来越流行的趋势,所以我们在此把它也作为TEM的一种工作模式列出来。在这种模式下,电子束在样品上扫动,样品的下方形成电子衍射。用一个环形的或者圆形的探头接收部分电子衍射并转化为电信号在显示器上形成图像。图像上的一个点对应电子束扫过的一个位置。这种成像方法其实和扫描电镜是相同的,只不过收集的是从样品透射过来的电子,扫描透射的名字也是这么来的。2.图像模式。在这种模式下,TEM是一台放大镜,可以对样品的形貌进行观察,比如晶粒尺寸,晶体缺陷,相分布,等等,还有很多。
3.衍射模式。在这种模式下,TEM是一台电子衍射仪,我们看到的是电子被样品散射后形成的衍射强度分布。大家对于XRD可能比较熟悉,而电子衍射相对陌生一些。其实,电子衍射在原理上跟XRD非常类似,只是实现的方式不同。,就是通常所说的电子衍射图,或者叫电子衍射谱。截面的特征跟观察的方向密切相关,电子衍射的强度在空间是三维分布。在TEM中,我们通常观察到的是其中的一个截面。