如何保证显微镜物象在视野正中
离开焦线处,数码显微镜电子束斑成模糊椭圆斑,而在两根焦线之间显微镜轴上某点处可得到电子束的最小模糊圆斑。这个模糊圆的半径称为数码显微镜轴上像散最。如果换算到物方得到的值与极靴的椭圆度有关,可以从计算得到。除加工和装配过程会带来像散外,在使用过程中极靴孔和显微镜光阑的沾污也会破坏轴对称性。因此为减小像散除控制设计制造过程外,通常在显微镜中都装备有消像散器,用附加的不对称性有意识抵消原有的椭圆性。最后还应经常清洗显微镜光路中的有关部件。
正如1.1中己经指出,由于显微镜电子的波动性,当它通过小孔光阑时会发生衍射现象。衍射结果表现为显微镜每个物点形成的像是一个圆斑(周围的副光环可忽略不计)。定义这个衍射圆斑的半径为衍射像差。在显微镜像方或物方可分别表示为:
景深就是在保持显微镜像清晰的前提下,可允许徕卡显微镜物面在轴上的移动距离,或者说可允许物上不同部位处的凹凸差。根据图1-10,理想情况下物点尸成像在Q点。如果物面在P点前后忆间移动,则在Q看到的物有一定横向宽度。如果显微镜有各种像差,该系统实际存在一个对物的可分辨极限(分辨率S)。只要P"间平面上的物点宽度小于或等于s,则在Q处的成像效果与P点处几何物点造成的像斑是相同的,即其徕卡显微镜清晰度相同。因此可允许的物在轴上距离P'P'称显微镜景深Do,它由下式定出:式中8一电子光学系统对物的分辨率:
ao一电子束的物方有效孔径角。对于100kV的显微镜,如果分辨率为l nm,物镜孔径角为5X10'rad,则偏光显微镜景深Do = 200nm。这表示样品厚度或表面凹凸起伏不超过200nm时,能得到均匀清晰的图像。由此可见景深也常常成为对偏光显微镜样品厚度的限制因素之一。
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