1、更换排气过滤器如果泵温明显升高、电动机电流达到或超过额定电流，泵排气口有油烟产生，则应检查排气过滤器是否堵塞，如堵塞，应及时更换。可在泵加油孔处安装排气压力表，检查过滤器是否堵塞。当压力超过0.6bar（表压力）时可更换排气过滤器。2、更换真空泵油及油过滤器如果油受污染而发黑、乳化或变稠应及时换油。换油同时，应更换油过滤器。并在加入新油之前请清洗泵。清洗、换油步骤：停泵将热油放掉；旋上放油塞，运转5-10秒，将油放尽；注入清洗用油（32号普通机械油）到油窗高度的3/4处；运转真空泵5-10分钟；停泵，将油放掉。如放掉的油还是比较浑浊，达不到要求，重复3、4步骤，直到放出的油呈透明状；旋上放油塞运转5-10秒；将油放尽；注入规定的新油即可。3、真空泵油XD、XQ系列真空泵应使用复合SH0528-92标准规定的真空泵油。环境温度在0℃～10℃时使用ISO-VG32粘度等级的真空泵油。环境温度在10℃～40℃时使用ISO-VG100粘度等级的真空泵油（为原1#真空泵油）。真空泵运转时必须保持油位在油窗高度的1/2～3/4处。应经常检查油位和油的污染情况（建议每周一次）。4、清洗吸气过滤网吸气滤网应保持清洁，以免抽速下降。5、贮藏如果泵长期搁置不用，应将油放尽并清洗泵，然后注入规定的新油放置在干燥场所。