工件的热误差是一个相当复杂的问题，这是由如下原因所决定的：
    1）测量机安装在固定的场所，一般说温度比较均匀、恒定，而工件由外部引入，还有可能刚加工完毕。这样工件各个部件以及外表与内部的温度可能很不一致，且偏离20度较远。为实现精密测量，必须在工件移入后均温相当长的时间才能进行测量。这里“均温”包括工件自身的均温，以及工件和测量机的均温。
    2）测量机各部件的温度可由固结在其上的测温元件测定。为测定工件温度，需临时将测温元件安置在工件上，对测温精度有一定影响。
    3）测量机虽可由具有不同温度灵敏度的零部件构成，但它们的温度灵敏度基本上是固定的，可以事先测定。而工件的线膨胀系数随被测件材料变化，不易事先测定。
    4）对于具有复杂形状的工件，同样可能产生复杂变形，且热变形模型难以事先建立。
    从上可以看出热变形误差是无法避免的，有一种观点认为，减小热变形误差的影响可以通过下面3条途径来实现：
    1）保持测量机的温度接近20摄氏度；
    2）采用具有低温度灵敏度的材料与器件制作测量机；
    3）对热变形误差进行补偿。
    应当说，这种观点是对的，但必须同时包括测量机与工件。