要测量面的垂直度或平行度，我们先从下面的图例中了解什么是面的垂直度和平行度。
面的垂直度和平行度的计算结果是两个平行平面之间的区域，而不是通常意义上理解的角度。
测量时，先分别测量被评定平面和基准平面，然后通过相应的三坐标测量软件的垂直度或平行度功能计算出相应结果。为了使测量结果更准确、可靠，我们需注意以下几点：
1.因为造成测量时方向矢量变化的原因是存在有重复性误差，而且当测量的面比较窄时。所以要尽量避免这种情况，尽量使测量面的范围大一些。
2.在无法避免的时候，要适当增加测量点数，以求避免个别测点影响方向矢量的情况。这种方法也适合测量小于1/4 圆的圆弧的情形。
3.用测量面对线或线对线的方法替代面对面的测量方法。这种方法需要测量的方向和测量长度方向一致，比较真实的反映零件的真实情况而不会放大测量误差。并且通过计算角度可以直观的了解零件误差产生原因，便于提供返修意见。在一条线不能反映全部垂直或平行的时候，可以根据需要多测量几条线。注意：要计算线与线垂直度或平行度时，应将线投影至公共平面。
以上是对面的垂直度或平行度三坐标测量的一些探讨。随着三坐标测量机软件的发展，可能会对以上问题有更好的解决方法。
