纯水是指既将水中易去除的强电介质去除，又将水中难以除去的硅酸及二氧化碳等弱电解质去除至一定程度的水。纯水的含盐量在1.0mg/L以下,电导率小于50μs/cm。　

超纯水(高纯水)是指将水中的导电介质几乎全部去除，又将水中不离解的胶体物质、气体和有机物均去除至很低程度的水。高纯水的含盐量在0. 3mg/L以下,电导率小于0. 2μs/cm。

超纯水,是一般工艺很难达到的程度，采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理四大步骤，多级过滤、高性能离子交换单元、超滤过滤器、紫外灯、除TOC装置等多种处理方法，电阻率方可达18.25MΩ*cm

超纯水被称为强力的溶剂,由于的纯水能够溶解任何接触到物质，因此它的纯度是不可能保持的。由于超纯水没有任何缓冲能力（即在溶解其他物质的同时保持自身的pH值），因此最微小的污染也会改变它的pH值。同时纯水是一种优良的绝缘体，因此在测量pH值的时候很难让pH计的测量电极和参比电极之间导通。这样在测量用的电极电路中产生的电阻，会使得测量的电信号噪声变大，电极的反应变慢，并产生静电双电层（static buildup）。这种静电双电层在纯水流经塑料管路时很常见。它产生的电场会使得测量得到的电阻比实际值要大。这样测量得到的pH数值是错误的。

用正常测一般溶液的方法测试纯水和超纯水其结果可能很不理想，反应很慢，而且漂移很严重。