真空度测试仪是真空灭弧室的真空度的鉴定设备，采用基于电离电荷的采样技术。在磁控放电的研究中发现：在外激励电源、真空灭弧室的几何尺寸、所用材料一定时,真空灭弧室里的真空度与电离的电荷量有非常准确的对应关系,而与电离电流的峰值仅有概率上的相关性。因此，基于电离电荷的采样技术，显著提高了真空灭弧室的真空度计量的准确性。真空灭弧室的波纹管是保证动触头在一定范围内运动和长期使灭弧室保持高真空的重要元件，要求有很高的机械寿命。波纹管本身存在的装配、材料(夹杂、微裂纹、划伤)等方面的缺陷都会严重影响真空灭弧室的寿命。同时真空开关的工作条件、操作机构的安装调整质量等都会影响波纹管的使用寿命。
材料放气和灭弧室漏气是使真空灭弧室内压强升高的另一个原因。引起真空度测试仪发生变化的材料放气包括材料表面吸附的气体和触头材料中所含的气体杂质。有研究表明，在经过有限次的分合后，气体的析出与触头电弧蒸散生成物的吸气可以达到平衡，不再影响真空度测试仪的变化。同时气体的渗透也会造成真空度测试仪压强的升高。但由于渗透率较小，因此渗透现象对真空度测试仪压强升高的影响并不明显。
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