宝德Burkert叶轮式流量传感器结构及工作原理
流量检测在工业生产和日常生活中应用广泛.
宝德Burkert微流量传感器主要用于测量流体的流速。流量、流向等性质.根据其测量原理的不同，可分为热式流盆传
感器和非热式流量传感器两大类.宝德Burkert热式流量传感器主要依靠传感器与流体间的热相互作用来进行侧
量.该类burkert传感器由于易采用半导体工艺制造，具有体积小、成本低、可以批生产，同时能与处理电路集
成在同一芯片上，使宝德Burkert传感器的愉出直接实现数字化，易于与计算机接口等优点.但宝德Burkert热流量传感器也存在一定的不足，如反应时间较长、功耗大、衬底的热传导导致测量误差、零点随环境温度的漂移等问题;对
流体加热，也限制了热式微流量宝德Burkert传感器在生物技术方面的应用
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宝德Burkert叶轮式流量传感器结构及工作原理
宝德Burkert叶轮式流量传感器的结构及工作原理：
宝德Burkert叶轮式流量传感器属于非热式传感器，它是通过检测流体使叶片转动的转速来反应流体的流量.
如图1示，该结构的中间阴影部分是转动轴，硅叶片作为电容的一个极板，由制作在玻璃板上的金属
薄膜(黑色区域)构成电容的另一极板.当有流体流过时，硅叶片以硅柱为轴开始转动，转动的速度与流量的大小有关.由于电容的两个极板相对的面积随叶片的转动在周期性的改变，由此产生的电容也将
作周期性的变化，且电容变化的频率与转速有关.当通过电容检测电路测出电容变化的频率，则可以通
过一定的对应关系将转速转换成电信号翰出，从而反应出流量的大小.采用电容检侧的优点主要是容
易与Burkert宝德传感器制备工艺相结合，减少了工艺难度，同时由于检测的是数字信号，避免了失调、温漂等线性电路难以解决的问题.
宝德Burkert叶轮式流量传感器结构及工作原理
