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气体质量流量控制器为什么要满足一个工作压差?

2025年06月18日 10:19:12      来源:北京弗罗斯科技有限公司 >> 进入该公司展台      阅读量:46

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气体质量流量控制器为什么要满足一个工作压差?

  质量流量控制器为什么要满足一个压差?很多客户在使用质量流量控制器(MFC)过程中发现总不能很好的达到控制流量效果,很多愿意都是没有达到MFC自生的一个压差,目前市场上一般MFC的压差都在50-300Kpa,这个意思就是进口和出口的压力差最小不能低于50Kpa,不能超过300Kpa,因为MFC自带电磁比例阀原因,如果压差太小,气体压力就根本不能把比例阀顶开,气体压力过大就让比例阀不能很好进行控制。所以客户在使用中先告知进、出口压力,看看是否能满足这个差压50-300Kpa当然有些客户是有低压差的需求,目前我公司的Amass/Dmass系列质量流量控制器可以做到15Kpa,可以达到1.1MPa.如果还有更低的要求,请

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