在液晶面板生产中，显影机是一种重要设备，显影室的洁净度和显影效果是影响产品工艺和性能的重要因素，定期保养显影机设备的各机构部位，可保证显影机的动作正确，并确保显影机的质量符合要求，还能提升设备的使用寿命，节省人力物力。

1 显影机的作用

传输作用：连接上游和下游设备，有效地传输基板。

过程作用：对于负光阻值，涂布后的面板未曝光部分光阻与显影液发生作用，未曝光部分光阻溶解，洗净后需要的部分。在正的光阻下，曝光部分光阻与显影液发生作用，使曝光部分被溶解，洗净，留下所需部分，达到液晶面板生产的工艺要求。

2 显影机的主要结构

显影室：包含水管，喷嘴，摇臂，Roller，显影Nozzle。

水洗室：包含水管，喷嘴，Roller，水洗Nozzle，风刀。

移动和移动Conveyor：包含Roller，旋转角度Conveyor。

3 显影机故障内容。

机械故障：传送结构的故障卡死，导致移动异常，或出现破裂。

操作不当：由于光阻性溶解物在腔内或管道内长期使用，导致喷淋装置堵塞，喷洒效果不加，造成显影Mura或者显影不良，所以需要定期对显影机进行保养维护作业。

4 维修保养内容。

装置壳体及盖板：1、用纯水浸湿的无尘布擦拭设备外壳，及显影室、水洗室盖。2污物不能擦去纯水可以用无尘酒精擦拭。

清洗：1.将Tank内显影液体废液洗净并排空后用水枪冲洗Tank内各部位，再用纯水或酒精擦拭无尘布，然后擦拭内壁。清洗完毕后再用水枪冲洗Tank，直到无尘抹布擦下无赃物。清洗后将纯净水加入洗涤剂中，待显影机维护完毕后再进行显影作业。

清洗清洗：1.将提花内纯水排空，用无尘布对内壁和管壁进行清洗。2清洗后加入纯水，待显影机维护完毕后再加入显影机。

清洗显影室：1用高压水枪冲洗显影包内壁、罗勒、摇臂及污染部位。2、使用无尘布，可以沾上纯水或酒精擦拭内壁、罗勒、摇臂等污染部位。3检查喷嘴和显影喷洒状态，更换堵塞和喷洒不良的喷嘴，用塞尺Nozzle清洗。4用高压水枪冲洗Chamber、Chamber的内壁和底部。5将显影Roller转换成移动方式，检查各旋转轴和轴承转动情况，对转动异常部位进行更换和修理。6打开显影室喷淋和摇晃，用纯水冲洗干净，直到显影室内部干净为止，显影Chamber内滤网清理完毕，避免滤网堵塞而引起积液。

清洗室内清洁：1用高压水枪冲洗Chamber内壁、Roller及污染部位。2、使用无尘布，可以沾上纯水或酒精，擦拭内壁、罗勒等污染部位。3检查喷嘴和水洗喷头喷洒情况，更换堵塞的喷嘴和喷水不良的喷嘴，用塞尺清洗Nozzle。4用高压水枪冲洗Chamber及Chamber内壁和底部的水管。5用干无尘布清洗AK段风刀和圆管。6将水洗后的Roller转换成移动方式，检查各滚筒和轴承转动情况，对转动异常部位进行更换和修理。

移动、移出和Roller:1使用寝有丙酮的无尘布对移动入口的上下侧实施。2用干的无尘布对移动到Roller进行清洁。3转换成移动方式，检查各滚筒和轴承转动情况，对转动异常部位进行更换和修理。

过滤器：检查更换的滤芯，并用无尘清洁FilterHouse。

维护效果检查1、目视检查法及用干净的无尘抹布擦干净。2判定标准各机构运行正常，擦拭无尘布表面无污染。

自动喷淋操作：1将显影提花洒入纯水后，将其送至显影室和水洗室。2.将显影Tank废液显影注入显影液后，对显影液进行自动喷淋操作。3将显影及水洗后的废液，显影机改变准备动作，待准备动作结束后更改为自动模式。

5注意事项

在维护保养前需先穿着佩戴好防护用品，注意作业安全。

同一块无尘布勿擦拭不同种类的部位，如内壁与Roller。

注意水枪等硬物不要接触到风刀。

擦拭过程勿碰坏Sensor。