表面处理是在各种金属材料、塑料等零件表面上进行电镀、喷涂、氧化之前，零对零件表面进行预处理，使其达到的技术要求。常见的表面处理有磨光、抛光、脱脂（除油，除蜡）、侵蚀（酸洗）、氧化、磷化等工序。

磨光与抛光废水：在对零件进行磨光与抛光过程中，由于磨料及抛光剂等存在，废水中会有浓度较高的悬浮物和有机物（SS、COD、BOD₅）。

脱脂废水：脱脂废水与脱脂方法有关，常用的脱脂方法有：有机溶剂脱脂，化学脱脂、电化学脱脂及脱脂等。除有机溶剂脱脂以外，其他几种脱脂工序中，由于含碱性物质、表面活性剂、缓蚀剂等组成的脱脂剂存在，废水中含有碱性物质，表面活性剂及碱与油脂皂化后生成的脂肪酸钠和脂肪酸醇等有机物，造成废水中COD浓度高。废水中的主要污染物为：pH、SS、COD、BOD、石油类、色度等。

浸蚀（除锈、酸洗）废水：利用各种酸溶液，如硫酸、盐酸、氢佛酸、磷酸等金属零件表面的氧化皮锈蚀物，其中还要加入缓蚀剂（大多为有机物、如硫脲、若丁、硫胺等）。浸蚀后的清洗废水中含有酸、悬浮物、有机物等污染物，废水中的pH、SS、COD等超标，此外还含有大量的Fe²⁺。

铝及其合金的氧化废水：铝及其合金氧化分为化学氧化与电化学氧化（阳极氧化）。化学氧化又分为酸性氧化和碱性氧化。例如酸性氧化是用磷酸、铬酐、*铵等溶液使铝合金表面的铝生成一个薄的氧化层，然后再进行填充处理和用铬酐进行钝化处理。氧化后着色，着色剂为染料（有机及无机染料），然后再用热水、蒸气、铬酸等封闭。此类废水中的主要污染物为：pH、SS、COD、BOD⁵、色度（有时有Cr⁶⁺、总Cr）。

磷化废水（皮膜废水）：钢铁零件在含锰、铁、锌的磷酸溶液中经过化学处理，其表面生成一层难溶于水的磷酸盐保护膜，作为喷涂的低层，防止钢铁生锈。该类废水中的主要污染物为：pH、SS、PO₄³、COD、Zn²⁺等。