纯度的水质，集成电路工业当中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等方面。此外，其他固态电子原器件、厚膜和薄膜电路、印刷电路、真空管等材料的制作也都要使用超纯水。超纯水主要是指下列杂质含量极低的水：1、无机电离杂质,如 Ca、Mg、Na、K、Fe、Fe等；2、颗粒,如尘埃、氧化铁、铝、胶体硅等；3、微生物,如细菌、浮游生物和藻类等;4、有机物,如烷基苯磺酸、油、有机铁、有机铝以及其他碳氢化合物等；5、溶解气体, 如N2、O2、CO2、H2S等元素。超纯水中电离杂质的含量用水的电阻率数值来确定与衡量。在理论上来说，纯水中只包含有H离子和OH离子元素参加导电。在25℃时超纯水的电阻率为 18.3(兆欧·厘米)，一般约为15～18（兆欧·厘米）。　超纯水中有机物含量由测定有机物碳含量而定，电子工业超纯水中规定含量为50～200微克／升,并要求直径大于1微米的颗粒性物质每1毫升内含量为1～2个，微生物每1毫升为0～10个。现在一般采用预处理、电渗析、紫外线杀菌、反渗透、离子交换、超滤和各种膜过滤技术等工艺，使其超纯水的电阻率在25℃时达到18(兆欧·厘米)。