全光谱椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构特性的光学测量设备。它通过测量偏振光在样品表面反射后的偏振态变化（幅度和相位），来计算或拟合出材料的相关属性。

全光谱椭偏仪的日常保养需注意以下方面：

光学部件清洁：

• 定期用干净、柔软且不起毛的擦拭布轻轻擦拭仪器的光学窗口、镜头等部件，去除灰尘、污渍等，擦拭动作要轻柔，避免刮伤光学表面。

• 对于顽固污渍，可使用专用的光学清洁液，按照说明书要求的方法进行清洁。

• 仪器表面维护：用干净湿布擦拭仪器外壳，去除表面灰尘与污垢，之后用干布擦干，保持仪器外观整洁。

探头保养：

• 避免探头受到剧烈碰撞或挤压，以防损坏内部光学元件及影响测量精度。

• 不使用时，将探头妥善放置在专门的保护装置内。

环境控制：

• 将仪器放置在干燥、清洁、温度和湿度相对稳定的环境中，理想的温度范围一般在20℃ - 25℃，相对湿度在40% - 60%，避免阳光直射和靠近热源、冷源。

• 尽量减少仪器周围的灰尘、烟雾、水汽等，可使用空气净化器等辅助设备改善环境。

定期校准：按照仪器制造商规定的周期进行校准，使用标准样品确保仪器测量的准确性和可靠性，校准过程严格遵循操作指南。

软件维护：

• 定期更新仪器的控制软件及相关驱动程序，以获得更好的性能、修复可能存在的漏洞及兼容新的操作系统等。

• 做好数据备份，防止因软件故障、电脑故障等导致测量数据丢失。不同型号的全光谱椭偏仪可能具有不同的技术指标。

致东 Radiation椭偏仪紧凑型膜厚量测设备

● 安装移动迅速便捷

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关键词：光谱仪 | 椭偏仪 | 反射仪