导读：台阶仪的书面参数是设备研发和生产过程中，在理想条件下避免各类外界干扰因素才能达到的；在实际测量中，设备安装和运行环境中的变量，以及样品本身的均一性，都是使得台阶仪实际测量结果和其书面参数有一定差异的原因；用户在购买和使用设备时，应合理调整自己的期望值，充分了解设备的能力与自身需求的匹配性。

对于花费了大量时间、精力和财力购买回来的测量设备，每一位用户都希望物有所值。很多客户在阅读台阶仪的专业测样报告时提出疑问：为什么测样的实际结果和前期调研交流时在彩页和型录上的书面参数相去甚远？是不是台阶仪参数夸大，设备实际性能根本达不到？事实上，并非如此。

台阶仪的书面参数来自于理想测试环境下对样品的测量。一方面，研发一台精密测量仪器时，测试环境一定是尽力接近的：恒温恒湿、无振动辐射、无运动气流；另一方面，测量的样品是以高标准工艺打磨出的理想标准片，其平面度、表面粗糙度、台阶高度和形状以及产品的均一性都处于适合测量的状态。由此，才有了型录和彩页上的书面参数。

实际测量中，会受到台阶仪运行环境中的各类因素的干扰和样品本身均一性的限制，因此数据和彩页、型录上的书面参数有一定差距。例如，客户的设备安装环境，可能有电脑、电扇、空调、真空泵或者影响空气运动和造成震动的其他因素，在微米尺度的测量中，这些震动的影响并不大，但到了数十纳米时，这些因素对测量结果的影响就显现出来了；除此之外，一些使用者自身生产的样品表面本身均一性水平就不高，毛刺、坑洼多见。在这种情况下，即使台阶仪精度再好，稳定性再优良，也无法达到设备书面参数的水平。

因此，客户在购买台阶仪前，能够对自身的需求和供应商的产品性能有明确的了解，从而合理调整自己的期望值。前期调研中和设备供应商进行面对面交流，以及开诚布公的技术问答，能够起到很大作用。

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日本进口KOSAKA 台阶仪，有ET200A，ET4000系列和ET10000，分别对应：学术和科研单位的膜厚测量（如工程系、材料系和机电系材料测量需求），面板、光伏、半导体等产业工厂自动化测量和超大型工厂全自动化测量的需求。

关键词：台阶仪 | 膜厚仪 | 薄膜测厚仪 | 段差分析仪