最近几年。随着机械，电子和光学行业的快速发展，对精密加工表面的质量要求越来越高，使得表面粗糙度的测量越来越重要。激光核聚变驱动器，磁盘，光盘，X射线光学仪器组件，大功率激光窗和同步加速器元件的表面粗糙度要求已达到纳米级要求。

这些需求也极大地促进了表面粗糙度测量技术的发展。轮廓仪粗糙度仪表面粗糙度测量技术的未来方向是什么？现代科学技术的许多领域对表面质量提出了更高的要求。一方面，现有的常规检测方法无法满足测量精度的要求，尤其是近年来纳米技术的出现和逐步普及与应用。

改善了对表面粗糙度的测量要求，并且向更精细和精确的方向发展了表面粗糙度测量技术。另一方面，复杂的三维形状加工技术的发展也对三维表面粗糙度测量的发展提出了新的要求。

已经在正常截面的轮廓上评估了长时间内表面粗糙度的表征参数，仅反映了高度和横向距离之间的关系。它属于“二维”评估；但是，在小范围内评价检查对象的表面粗糙度的情况下，也应考虑纵向距离的关系，通过“三维”评价表面粗糙度是可行的。

电子技术，计算机技术和精密加工技术的发展为表面粗糙度测量的进一步发展提供了技术基础。 1980年代出现的原子力显微镜（AFM），扫描隧道显微镜（STM），扫描方法光学显微镜（SNOM），光子扫描隧道显微镜（PSTM）等是表面粗糙度测量的一个有希望的方向。

另外，在科学研究和生产实践的许多领域中，过去的后处理采样测量不再能满足要求，这需要能够在线测量的新测量方法。超高精度表面的高精度测量，3D表面粗糙度测量和在线实时测量成为未来粗糙度测量的主要方向。

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