三维轮廓仪是一种用于表面结构测量和表面形貌分析的测量和计量设备。它不仅可以用于科学研究，还可以用于工业产品的检测，该仪器可被视为表面研究的万用表。它利用接触和非接触功能的设计特点，弥补了两种模式的局限性，发挥了表面形貌仪的测量极限。光学非接触式具有速度快、直接三维成像、对样品无损伤等特点。探针接触模式方便快捷，样品制备简单，测量材料广泛。两种模式结合使用，可用于研究更多形状、性质和材料的样品的表面形态。
1、三维表面结构：粗糙度、波浪度、表面结构、缺陷分析、晶粒分析等。
2、二维图像分析：距离、半径、斜率、网格、轮廓等。
3、表面和界面测量：透明表面形态，薄膜厚度，透明薄膜下的表面。
4、薄膜和厚膜的阶梯高度的测量。
5、划痕形态、摩擦和磨损深度、宽度和体积的定量测量。
6、微电子表面分析和MEMS表征。
三维轮廓仪是一种自动测量设备。在测量表面轮廓时，操作者需要先安装好轮廓模块，然后安装好待测工件，在验证软件上设置好扫描的开始和结束位置，点击"开始"按钮，测量针会自动接触工件表面，并按照设定的位置进行扫描；在轮廓扫描过程中，软件界面会实时绘制轮廓曲线；扫描结束后，操作者可以通过轮廓分析工具分析生成的轮廓曲线，得到直线度、圆度、角度、距离和间距等轮廓参数。
三维轮廓仪的维护说明。
1、测量结束后，退出系统，关闭电脑，切断电源。
2、测量结束后，用棉花和航空汽油清洁工作台和夹具，并涂上防锈油。
3、注意仪器附件的防锈。
4、定期清洗导轨（具体周期视环境而定），保证导轨的精度。
