真空设备经过一定时期的使用后，会有那么一些的小毛病，长期使用后，大病小病就会一起来了，这是所有机械都不可避免的，但真空镀膜设备又不是一般的便宜的小机械，大不了放到垃圾回收站，另外购买新的，所以真空设备维修是伴随着其生产运作而共同存在的。

对真空设备维修可以分为四个步骤，首先把设备拆卸下来，而且需要非常小心的拆，始终是高科技精密设备，如果粗鲁对待，其中一些小零件的损坏也可能会导致大问题出现，拆卸下来后就进行清洗，把零件都清洗干净了，这样，问题所在也会容易发现。

第二就是对真空设备检验哪里出问题了，要仔细的查，真空设备体型庞大，零件也多，每个地方都会有可能出现故障问题，不过对于有经验的师傅，在真空设备运作时听声音，再个别操作，就很容易发现问题，或者观察哪个部分不能运作，也可以把相信检验范围缩小，检验出故障后就可以维修了，维修时要对症下药。

做好真空设备维修的工作，可以更有效的利用设备为自己生产，不影响产能。

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