2025年09月28日 14:02:12 来源:东莞爱加真空科技有限公司 >> 进入该公司展台 阅读量:14
真空设备维修与保养
一、冷却风扇过滤器清洁,保养频率 每季度一次
在真空镀膜机工作时,由于冷却风扇一直在运行,大量的空气经过过滤器过滤后送进设备内部,所以长时间运行后会有大量灰尘吸附在过滤器上面,会影响通风效果、冷却效果,具体操作如下:
1、打开设备背面盖板;
2、将过滤器取出来使用吸尘器清洁过滤器;
3、将清洁完的过滤器安装到设备上面;
4、盖上背面盖板;
二、冷却水过滤器的清洁,保养频率 每月一次
冷却水在真空镀膜设备工作时一直在流动,所以冷却水里面回存在一些杂质,这样就会把过滤器堵死,从而造成真空镀膜机故障,所以我们需要定期进行清洁。具体操作如下:
1、将设备关机、降温;
2、将冷却系统的泵停掉;
3、将过滤器的进水和出水阀关掉;
4、使用扳手将过滤器拆卸下来,过滤器件是不锈钢做的,可以把它放入水中用刷子洗刷或者更换个新的;
5、将清洗过的过滤器从新安装上去;
6、打开进水和出水阀,检查有没有漏水
三、检查VAT碟阀状态,有无信号状态错误,拆开进行阀体清洁,保养频率 每月度一次
四、电气控制柜及电气元件的检查与清洁,保养频率 每季度一次
五、各炉体的检查与清洁,保养频率 每季度一次
六、压力测试仪器矫正,保养频率 每季度一次
七、校正小推车,调整后进行紧固,保养频率 每月一次
八、SLS系统的检查与润滑,保养频率 每月一次
九、LIFT机构的检查与润滑,保养频率 每月一次
十、真空压力测试,保养频率 每月一次
各气体管道连接处的检查,气的管道连接处,确认无白色晶体物出现
十一、检查真空镀膜设备各水路通道确认无漏处,保养频率 每月一次
水路管道连接处的检查,水路管道连接处有无漏水。
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