现在的真空镀膜机设备是做得越来越好了，由一开始功能比较单一的发展到现在多功能结合的真空镀膜机，而且还会做得更好。

对于真空镀膜机的真空室，可以用不锈钢或碳钢或其两者组合使用制作，做成单开门或者又开门，可以通过利用电阻加热，也可以利用感应加热，如果是电阻加热的话，使用的材料有石墨、钨、钽、钼、镍铬这几样，加热后要进行保温，设置了保温层就可以提高加热的效率，以免热量快速散失，一般有金属保温层和复合保温层。

为了更好的测试、稳定室内温度，使用测温仪器和控温仪器，避免温度过高或不达标，抽气系统由各种真空泵及附件按其各自功能组装使用，常见的有机械泵、罗茨泵、扩散泵，抽气过程中由真空测量仪器显示真空度，以保证真空度的精准度，这些是比较主要的部分.

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