一、冷却风扇过滤器清洁,保养频率 每季度一次

在真空镀膜机工作时，由于冷却风扇一直在运行，大量的空气经过过滤器过滤后送进设备内部，所以长时间运行后会有大量灰尘吸附在过滤器上面，会影响通风效果、冷却效果，具体操作如下：
　　
　　 1、打开设备背面盖板；
　　
　　 2、将过滤器取出来使用吸尘器清洁过滤器；
　　
　　 3、将清洁完的过滤器安装到设备上面；
　　
　　 4、盖上背面盖板；

　　
二、冷却水过滤器的清洁,保养频率 每月一次
　　
　冷却水在真空镀膜设备工作时一直在流动，所以冷却水里面回存在一些杂质，这样就会把过滤器堵死，从而造成真空镀膜机故障，所以我们需要定期进行清洁。具体操作如下：
　　
　　 1、将设备关机、降温；
　　
　　 2、将冷却系统的泵停掉；
　　
　　 3、将过滤器的进水和出水阀关掉；
　　
　　 4、使用扳手将过滤器拆卸下来，过滤器件是不锈钢做的，可以把它放入水中用刷子洗刷或者更换个新的；
　　
　　 5、将清洗过的过滤器从新安装上去；
　　
　　 6、打开进水和出水阀，检查有没有漏水

三、检查VAT碟阀状态，有无信号状态错误，拆开进行阀体清洁,保养频率 每月度一次

四、电气控制柜及电气元件的检查与清洁,保养频率 每季度一次

五、各炉体的检查与清洁,保养频率 每季度一次

六、压力测试仪器矫正,保养频率 每季度一次

七、校正小推车，调整后进行紧固,保养频率 每月一次

八、SLS系统的检查与润滑,保养频率 每月一次

九、LIFT机构的检查与润滑,保养频率 每月一次

十、真空压力测试,保养频率 每月一次

各气体管道连接处的检查，气的管道连接处，确认无白色晶体物出现

十一、检查真空镀膜设备各水路通道确认无漏处,保养频率 每月一次

水路管道连接处的检查，水路管道连接处有无漏水。

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