ICPMS等离子体质谱仪主要用于液体试样(包括经化学处理能转变成溶液的固体试样)中金属元素和部分非金属元素的定量分析。使用雾化器将样品溶液泵入进口系统，形成微小的样品气溶胶。样品气溶胶的一部分在等离子体被离子化，通过双锥将样品离子从等离子体提取至含有四极杆质量过滤器的真空系统中。
通过离子光学系统将不同质荷比的离子输送到质量分析器中。质量分析器选择特定质荷比的离子，然后通过电子倍增器对特定质荷比的离子计数。将特定元素的离子得到的 CPS 值与校正曲线进行比较，计算出样品元素的浓度。
ICPMS等离子体质谱仪可广泛应用于下面这些领域中：
一．材料类
1．室内装饰、装修材料中的可溶性重金属、游离甲醛、挥发性有机化合物、苯、甲苯、二甲苯等
2．电子、通讯材料及其包装材料中的无机污染物及有机污染物
3．及其包装材料中的有害物质及化学成分
二．环境与安全类
1．食具容器、包装材料的成分分析及有害物质分析
2．室内空气质量中的：甲醛、氮氧化物、二氧化碳、二氧化硫、氨、可吸入颗粒物、氡等
3．水（污水、饮用水、矿泉水等）中的：有害重金属及阴阳离子、硫酸根离子、氟离子、氯离子、硝酸根离子、磷酸根离子、COD、BOD等
4．玩具、儿童用品及其包装材料中的：有害重金属（锑、砷、钡、铬、镉、铅、汞等）
5．肥料中的重金属及微量元素：砷、汞、铅、隔、铬、锰、铁等
6．化妆品、洗涤剂及其包装材料中的有害成分：砷、汞、铅等
三．医药食品类
1．中西药及其包装材料中的有害重金属、微量元素、农药残留物、抗生素、有效成分等
2. 生物组织中的重金属、微量元素及有机成分
3．保健品及生物制品中的有害成分、营养成分等
4．食品及其包装材料中的有害物质、重金属、微量元素及其它营养成分
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