真空泵机组以罗茨泵为主泵。以旋片泵为前级泵串联而成。

　　其结构紧凑，操作方便。适用于抽除空气及其它无可凝性及无腐蚀性的气体，应用于需要大抽速和高真空的各种真空系统中。

　　一般常用于真空冶炼，电力电容器，变压器，真空浸渍处理，真空镀膜设备中的预抽等。

　　当使用一种泵不能满足抽气及真空要求时，就要把几种泵组合起来，互相补充才能满足工艺要求。

　　需要预真空：有的真空泵入口压力低于大气压，真空泵机组有的真空泵不能在大气压下工作。这时候就需要前级泵，因此就需要把几个泵组合起来使用才能正常工作。

　　经过组合使用的真空泵，称之为真空泵机组，能使真空镀膜设备得到较好的真空度及排气量。

　　应正确地选择组合的真空泵，由于不同的真空泵对抽除的气体要求有不同的要求，比如：一般情况下罗茨-旋片机组不适用于含有较多可凝性气体的系统。

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