真空镀膜设备中真空挡板阀原理、使用范围：真空挡板阀的工作原理是阀板通过阀杆作上下运 磁动而实现密封的。

　　驱使阀杆运动的传动部件有手动、手电两动、气动等三种方式。

　　手动传动部件，以螺纹结构为主，也可以采用平凸轮结构。

　　手动两用的传动部件，由电执、蜗轮、蜗杆组成的，并装有行程开关。

　　当接通电源后，电机按某一方向(如开启方向)旋转，通过蜗轮、蜗杆将阀杆带动作向上运动使阀板上升，当阀板上升到一定高度时，行程开关自动切断电源，阀杆运动立即停止，反之亦然。

　　手动时，松开手轮背帽，用手按一定方向转动手轮即可，气动传动部件以压缩千操空气为动力，通过电磁换向阀改变气路方向，推动汽缸活塞上下运动，带动阀杆上下运动，使阀板开启关闭，从而达到接通或停止气流的目的。

　　真空挡板阀有高真空挡板阀和超高真空挡板阀两种。高真空挡板阀用于高真空系统接通或截止气流。

　　适用压力范围：轴封为橡胶时，为105～1.3×10-4Pa;轴封为波纹管结构时为105～1.3×10-5Pa。

　　工作介质温度：-25～80℃ (密封件为丁腈橡胶);-30～150℃(密封件为氟橡胶)。

　　阀体材料：碳钢镀镍或不锈钢;阀板密封材料T-腈橡胶或氟橡胶。超高真空挡板阀用于超高真空系统接通或截止气流。

　　适用压力范围为105～1.3×10-8Pa等阀门开启状态，烘烤温度小于400℃，阀体材料为不锈钢;阀板材料为无氧铜;轴封处密封件材料为不锈钢波纹管。

　　这两种真空挡板阀使用的工作介质为洁净的空气或对阀门无腐蚀的干净气体。

　　不适用在对金属有强腐蚀牲和含有颗粒状态灰尘的气体情况下长期使用。

　　高真空挡板阀由于具有密封可靠、流导大、安全性好以及可手控、电控、气控等特点，形式多样，规格齐全，通径为150～120mm，结构合理等.

　　因此，被广泛用于大、中型多种高真空装置的真空系统之中，如用于真空镀膜设备，真空热处理炉、真空钎焊，高真空电子束焊机、离子束刻蚀设备、空间环模设备等。

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