1.开关气路，当阀1和阀4关闭，阀2打开时，机械真空泵Ⅲ对容器I抽真空，气流流经预真空抽气管路;当阀2关闭，阀4打开时，机械泵可单独对扩散泵抽真空;当阀1和阀4同时打开时，扩散泵和机械泵可同时工作，对容器进行抽空，此时气流流经扩散泵。可见，阀门在这种操作中的作用是开关气路，改变气流的流经路线。

　　2.控制气流大小，调节真空度在图1中，调节阀1的阀盖开启角度，即可调节流经管路的气流量大小;关闭阀2和阀4，通过放气阀3可以给机械泵Ⅲ的入口放成大气;通过放气阀5可以调节容器内的真空度。

　　3.定量充气，在玻璃阀的柱塞上有个一定体积的小洞，当小洞转向右边和高压气瓶连通时，小洞中就可充满高压气体;当它转向左边和真空容器连通时，就把该体积的高压气体放进容器中去，这样就起到了定量充气的作用。

　　真空阀门的种类繁多，通常按阀门的职能、结构型式、驱动方式、材料和用途进行分类。

　　以上就是爱加真空整理的关于真空镀膜机中真空阀的作用，仅供参考，进口真空镀膜机维修就找爱加真空，省钱，省时间，价格公道技术好!

相关阅读

真空镀膜设备中挡板阀的工作原理

真空系统是如何分类的？