一个理想的真空镀膜机，应当是不存在任何漏孔，不产生任何漏气现象的。但是，对任何真空系统或真空容器来说，不漏的现象是不可能的。

　　特别是在压力极低的情况下，随着漏气现象的影响不断加剧，真空度达不到预定的工艺要求，是一个相当普遍的问题。

　　为此，检测真空镀膜机或真空容器存在的漏气部位、确定漏孔的大小、堵塞漏孔从而消除漏气现，就成为真空技术工作者的一项重要工作。

　　所谓漏气或称实漏，它是指气体通过真空系统上的漏孔或间隙，从高压侧流向低压侧的一种现象。真空检漏技术中的一些常用基本概念主要有以下几点。

　　(1)虚漏。

　　是相对于实漏而言的一种物理现象。这种现象大都是由于材料的放气、解吸、凝解气体的再蒸发或系统内存在死空间中气体的流出等原因，而引起真空系统或容器中压力升高的一种现象。

　　在真空检漏作业时，需要排除虚漏的影响。

　　(2)气密性。

　　它是表征真空系统或容器的壁对空气不可渗透程度的一种性能。

　　(3)漏孔。

　　是指真空器壁上存在的形状不定、极其微小的孔洞或间隙。大气通过这种小孔或间隙进入真空系统或容器中。

　　(4)漏率。即漏气速率。

　　它是指单位时间内通过漏孔或间隙流到真空系统或容器内的气体量。

　　(5)最小可检漏率。

　　它是指采用某种检漏方法或仪器可能检测出来的最小漏率。

　　(6)检漏灵敏度。

　　或称有效灵敏度，即检漏仪器在工作状态下能检测出的最小漏率。

　　(7)反应时间。

　　又称响应时间，它是指从检漏方法开始实施(如开始喷射示漏气体)到指示方法或仪器指示值上升到其值的63%时所需要的时间。

　　(8)消除时间。

　　它是指从检漏方法停止(如停止喷吹试漏气体)到指示方法或仪器指示值下降到停止值的37 %时所需要的时间。

　　9)漏孔堵塞现象。

　　它是指由尘埃或液体所造成的漏孔堵塞，这些堵塞常常是指由于检漏作业操作不当而导致发生的一种暂时现象，检漏时似乎不漏气，但一经排气又会出现漏气的一种现象。

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